10.3969/j.issn.1003-5311.2008.07.028
微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究
对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果.
微机械电子系统MEMS、微流控、有限元法、围堰结构、纳米多孔硅
TN21;TH703(光电子技术、激光技术)
上海市科教委"上海高校选拔培养优秀青年教师科研专项基金"2006041012
2008-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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