MS-6BC型精密双面抛光机的研制

摘要：

光电子信息产业的快速发展,要求蓝宝石、单晶硅等材料高效率、超光滑表面加工,精密双面抛光加工是得到这些材料超光滑表面的主要加工方法之一.本文介绍了新研制的MS-6BC型精密双面抛光机,介绍了其结构及其特点,并论述了双面抛光加工的主要工艺因素和过程.最后通过试验验证了MS-6BC型精密双面抛光机具有加工精度高,控制性能好的特点,适用于蓝宝石、单晶硅等人工晶片的超精密加工.

关键词：双面抛光、光电子材料、超光滑表面

分类号：TQ171.6

资助基金：浙江省自然科学基金M503049;浙江省科技厅资助项目2004C21007;浙江省教育厅资助项目20030157

在线出版日期：2008-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37