10.3969/j.issn.1003-5311.2008.02.009
蓝宝石衬底纳米级超光滑表面加工工艺研究
通过对蓝宝石衬底片的化学机械抛光工艺的研究,系统地分析了蓝宝石抛光工艺过程的性能参数,并经过大量试验,总结出影响因素,提出优化方案.得到的结果是:采用粒径为 40 nm、低分散度的 SiO2溶胶磨料并配以适当参数进行抛光,能够有效地提高加工效率和被加工的蓝宝石表面性能.
蓝宝石、化学机械抛光、纳米硅溶胶
TG580.692(金属切削加工及机床)
2008-05-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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