钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

摘要：

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽啧丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化.通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒径金刚石薄膜细腻致密.硬度测试结果表明,金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1 000以上,远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头.可纺性试验结果表明,其性能都达到或超过传统喷丝头,完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头.

关键词：金刚石薄膜、热丝CVD、碳化、钽喷丝头

分类号：TG1(金属学与热处理)

资助基金：上海市科委资助项目051111022

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：74-76