Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展

摘要：

随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点.本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响.

关键词：Ti-Si-N膜、纳米复合膜、微观结构、纳米硬度、工艺参数

分类号：TB33(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金50271004;上海市纳米科技专项基金0359nm005

在线出版日期：2006-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8