一种用于微器件装配的系统设计与研制

摘要：

首先概述了国内外微装配系统的研究现状,在分析微装配系统的特点和功能需求基础上,提出一种基于计算机视觉伺服控制的微装配系统设计方案,详细描述了系统中精密三维微定位工作台、SMA微夹持作业工具以及视觉伺服控制系统等关键技术的解决方案,并以直径为几百微米级的典型微轴孔的装配为目标开展各项关键技术的试验研究.

关键词：MEMS、微装配、视觉控制、精密微动工作台

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716201

在线出版日期：2006-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33