反应等离子喷涂TiN/AlN涂层的性能研究

摘要：

TiN涂层可以通过传统的物理或者化学气相沉积(PVD及CVD)工艺制备,但其缺点是沉积速率低,涂层厚度过薄;这些都严重地限制了TiN涂层材料在磨、蚀服役条件下的应用.本文利用反应等离子喷涂的方法制备了TiN/AlN涂层并研究分析了涂层的组织及摩擦磨损性能.结果表明:TiN/AlN涂层韧性比TiN涂层有所提高;TiN/AlN涂层不仅有较低的摩擦系数,且在高载下的磨损性能比TiN涂层有较大的提高.

关键词：反应等离子喷涂、TiN/AlN复合涂层、韧性、磨损性能

分类号：TG156.8(金属学与热处理)

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：85-86