一种新型电磁驱动微泵的设计与制作工艺

摘要：

主要阐述了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺.该微泵结构简单,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成,采用硅加工工艺和非硅加工工艺(电镀)相结合进行制作.采用模压法和硅橡胶加工方法将振动膜直接做在一个硅片上;用电镀和硅体加工工艺制作驱动线圈和无阀泵泵体,然后将3个基片键合在一起.

关键词：电磁驱动、硅橡胶、微泵、无阀泵

分类号：TN305:YM153:TP271.3(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20010248001

在线出版日期：2005-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-29