10.3969/j.issn.1003-5311.2004.12.021
TiN膜的制备和进展
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势.
TiN薄膜、制备方法、力学性能、工艺参数
TB43(工业通用技术与设备)
国家自然科学基金50271004
2005-02-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
50-52
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10.3969/j.issn.1003-5311.2004.12.021
TiN薄膜、制备方法、力学性能、工艺参数
TB43(工业通用技术与设备)
国家自然科学基金50271004
2005-02-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
50-52
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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