压电微型泵的制造新工艺

摘要：

在微机电系统(MEMS)中首次把聚对苯二甲基聚合物覆膜(Parylene Coating)技术成功应用于压电薄膜致动器的绝缘、防振、防水和防腐蚀;采用双面固体胶膜的键合工艺代替了传统胶粘结工艺;采用了精密微钻孔、微车削等微细加工技术.这些措施明显缩短了微型泵器件的研制周期,降低了成本,提高了微泵综合性能.

关键词：覆膜技术、固体胶膜键合工艺、微型泵

分类号：TH3∶TH706(泵)

在线出版日期：2004-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：19-21