10.3969/j.issn.1003-5311.2004.05.021
脉冲高能量密度等离子体沉积新型TiAlN薄膜
利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下,在45钢基材上制备出了TiAlN薄膜.利用XRD、SEM等手段分析了薄膜的相组成及显微组织,利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度分布及薄膜与基材的结合力.结果表明:薄膜主要组成相为TiAlN,薄膜组织致密、均匀,薄膜硬度高且与基材结合良好.
脉冲高能量密度等离子体、TiAlN薄膜、显微组织
TQ0(一般性问题)
2004-09-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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