10.3969/j.issn.1003-5311.2004.04.008
微磨料气射流加工的原理和应用
微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低成本的优势,该文分析了微磨料气射流加工原理,总结了国内外研究状况、技术发展趋势和应用前景.
磨料、气射流、微细加工、脆性材料、磨蚀
TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)
教育部留学回国人员科研启动基金021253
2004-06-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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