微磨料气射流加工的原理和应用

摘要：

微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低成本的优势,该文分析了微磨料气射流加工原理,总结了国内外研究状况、技术发展趋势和应用前景.

关键词：磨料、气射流、微细加工、脆性材料、磨蚀

分类号：TG7(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金021253

在线出版日期：2004-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：20-22