10.3969/j.issn.1003-5311.2003.06.023
用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置
简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端;介绍了1种将基片固定,利用定位螺栓套准模板的装置.实践表明:采用该装置可显著提高制备磁隧道结的完好率,为纳米多层膜的制备提供了较为可靠的模板套准方法及装置.
磁隧道结、套准、模板、定位图形
TN3(半导体技术)
天津市教委资助项目01-20216
2003-11-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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