10.3969/j.issn.1003-5311.2003.05.018
金属的生物去除加工法
生物去除法是利用微生物代谢过程中一些复杂的生物化学反应达到去除多余材料,加工出其他微细加工方法不能加工的微小零件.阐述了尝试用一种铁氧化细菌--氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀以铜及铜合金为材料的基片表面得到精细图形或三维结构的原理和方法.总结了这种新型加工方法的优缺点,在提高加工精度和生物加工机理方面进行了更深入的研究.
微细加工、光刻、氧化亚铁硫杆菌、生物刻蚀
TN3(半导体技术)
兵器预研基金BZJ050702
2003-11-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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