天体望远镜中的纳米定位技术研究

摘要：

介绍电容式传感器在大型天体望远镜光学镜面面形控制中的方法和原理。该大型天体望远镜10m直径的主镜由36块对角线长1.8m的六角形子镜拼接而成，应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理分析，阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施，并针对国内正在研制的LAMOST超大型天体望远镜实际应用环境和技术指标要求，提出新型涂敷式差动传感器，采用新材料和高集成度的新器件，以满足传感器在温、湿度变化大的条件下实时监测的要求。

关键词：天体望远镜、差动电容传感器、纳米定位、促动器

分类号：TH75(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-17,18