射频/直流磁控溅射不锈钢/Al2O3复合薄膜组织与性能研究

摘要：

利用射频/直流磁控溅射法，制备了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合薄膜，研究了316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合膜的组织形貌，测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明：直流磁控溅射316L不锈钢薄膜呈柱状晶结构，主要有Fe-Cr和γ-Fe相构成，在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向；由于射频溅射Al2O3陶瓷的掺合，使316L不锈钢/Al2O3陶瓷复合薄膜柱状晶细化，并出现二次柱状晶，在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向，316L不锈钢膜硬度明显高于316L块体，掺合了Al2O3的金属/陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。

关键词：射频/直流磁控溅射、不锈钢/Al2O3薄膜、组织与性能

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-006-0190;广东省教育厅科研项目9751

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：40-42