用于纳米加工的二种产品

摘要：

@@天津大学机械学院在承担国家自然科学基金多个项目中，涉及纳米加工技术，为此研制了多种用于纳米加工技术的产品，下面介绍其开发研制的已能用于实验和生产的2种产品。
1. 高刚度微位移工作台
主要技术参数：
最大载荷——20kg；
最大行程——16μm；
位移分辨率——0.05μm；
重复定位精度——0.1μm。
2. 高分辨率微进给驱动电源
主要技术参数：
输入电压——0～5 V；
输出电压——0～300 V；
输出电流——200 mA；
电压调整率——＜0.005%；
输出时漂——30 mV/h；
输出电压分辨率——20 mV。
3. 超声波磨削复合加工机
超声波磨削复合加工机的加工原理是由压电陶瓷换能器发出20kHz的超声频率的振动信号，作用于高速磨削主轴金刚石磨头的端部，使金刚石磨头在高速旋转的同时具有高频振动，即磨头在切削(磨削)区还能产生高频振动冲击和超声空化作用，对被加工的硬脆材料进行破碎、挤压、变形和修整，完成小孔、复杂形状型腔和型孔的加工。

机标关键词：纳米加工技术、金刚石磨头、分辨率、输出电压、磨削、技术参数、国家自然科学基金、高频振动、超声波、压电陶瓷换能器、重复定位精度、微位移工作台、加工机、电压调整率、最大载荷、最大行程、振动信号、振动冲击、硬脆材料、输入电压

分类号：TH11

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

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