基于柔性铰链和磁致伸缩效应的二维微定位机构的研究

摘要：

设计了一种新型的基于柔性铰链和磁致伸缩效应的纳米级二维微定位机构,并对该机构进行了实验研究,其重复定位精度在4μm×4μm范围内为±2nm.

关键词：柔性铰链、磁致伸缩效应、微定位机构

分类号：TH11

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：12-13