10.3969/j.issn.1003-5311.2000.03.005
硅微型惯性加速度计中敏感头的研究
设计了硅微型惯性加速度计的敏感头并应用激光加工和化学蚀刻相结合的工艺方法制造得到了满意的结构,应用激光光纤测振仪检测了悬臂梁振动特性.
敏感头、激光、化学蚀刻
TH16
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
11-13
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1003-5311.2000.03.005
敏感头、激光、化学蚀刻
TH16
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
11-13
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn