10.3969/j.issn.1673-5587.2023.06.053
冷氢化装置氯硅烷除杂设备改进研究
主要介绍多晶硅生产技术冷氢化工艺中金属氯化物对急冷塔过滤器运行的影响,结合金属氯化物特性和生产实际改造过滤器,通过烘烤过滤器的形式解决滤芯清洗再生的难题,增强系统长周期运行的稳定性.
多晶硅、冷氢化、金属氯化物、过滤器、烘烤
59
TM621.2;TE62;TS243.11
2023-10-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
159-161
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10.3969/j.issn.1673-5587.2023.06.053
多晶硅、冷氢化、金属氯化物、过滤器、烘烤
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TM621.2;TE62;TS243.11
2023-10-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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