10.3969/j.issn.1673-5587.2023.05.008
晶圆测试产品表面悬浮粒子沉积问题研究
通过研究分析既有晶圆探针测试设备的运行过程,查找晶圆产品表面空气悬浮粒子的沉积原因,进一步探究粒子的来源和传播路径,从而发现晶圆测试工艺中生产设备在设计或车间布局方面的不足,以便针对性地进行改进.
晶圆测试、悬浮粒子、沉积
59
F416.67;TN929.5;TU834.43
2023-09-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
15-18
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10.3969/j.issn.1673-5587.2023.05.008
晶圆测试、悬浮粒子、沉积
59
F416.67;TN929.5;TU834.43
2023-09-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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