光学晶体精密加工亚表面损伤缺陷的检测方法

摘要：

随着光学晶体精密加工技术的飞速发展,现代电子学、短波和强波光学对所用材料的选择标准越来越高.光学晶体表面要求达到超光滑标准,即晶体表面的粗糙度必须小于 1 nm,不能有破损痕迹和任何表层应力.因此,保证超精密加工技术的合理应用和光学晶体的质量尤为重要.文章探究了光学晶体的超精密加工方法和亚表面损伤缺陷的检测方法,希望能够严格把控光学晶体的质量.

关键词：光学晶体、超精密加工、亚表面损伤

所属期刊栏目：58

分类号：TN305;TH16;V11

在线出版日期：2023-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：155-157