10.3969/j.issn.1673-5587.2017.02.087
蓝宝石化学机械抛光专利技术分析
本文首先对蓝宝石化学机械抛光专利申请状况进行概述,然后重点从蓝宝石化学机械抛光装置结构、抛光垫、修整器、CMP停止、抛光液、蓝宝石应用及加工工艺等方面,分析蓝宝石CMP专利技术.
蓝宝石、化学机械抛光、CMP、专利
TG5;TS6
2017-12-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
163-164
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10.3969/j.issn.1673-5587.2017.02.087
蓝宝石、化学机械抛光、CMP、专利
TG5;TS6
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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