蓝宝石化学机械抛光专利技术分析

摘要：

本文首先对蓝宝石化学机械抛光专利申请状况进行概述,然后重点从蓝宝石化学机械抛光装置结构、抛光垫、修整器、CMP停止、抛光液、蓝宝石应用及加工工艺等方面,分析蓝宝石CMP专利技术.

关键词：蓝宝石、化学机械抛光、CMP、专利

分类号：TG5;TS6

在线出版日期：2017-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：163-164