提高半导体工厂的配电可靠性
半导体制造工厂需要消耗大量电力来支持其设施运行和制造过程.大型工厂每小时可消耗高达100 MW 时电力,相当于一个普通家庭17年左右的耗电量,超过了许多炼油厂和汽车制造厂的耗电量.随着产量增加以及过程复杂性提高,电力消耗会持续增加.例如,最新的极紫外光刻技术的耗电量是从前的10倍.
2022-04-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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