VAD提升速度的控制方法

摘要：

1.引言
VAD(轴向气象沉积)工艺作为一种主流光纤预制棒制造工艺,其工艺过程是在加热的条件下,使液态原料Sicl4及Gecl4气化,经由流量计控制流量的载流气体将原料输送至喷灯,原料气体在喷灯火焰中发生水解反应,产生Si02和Ge02氧化物颗粒,这些颗粒附着在初始种棒上,使种棒下端不断“生长”,最终形成预制棒松散体.为保证松散体的外形尺寸的几何精度,初始种棒会根据松散体的生长速度不断提升,同时以一定的速度旋转.所以提升速度的稳定取决于松散体生长速度(沉积速度)的稳定性,但提升速度会影响种棒与喷灯的相对位置,从而反作用]松散体生长(颗粒附着)速度,由此可见,提升速度是决定VAD工艺稳定性的至关重要的参数.

机标关键词：提升速度、松散体、生长速度、工艺稳定性、原料输送、光纤预制棒、体生长、喷灯、颗粒、制造工艺、原料气体、相对位置、外形尺寸、水解反应、气象沉积、控制流量、几何精度、工艺过程、沉积速度、氧化物

分类号：U44;TV5

在线出版日期：2015-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：34-35