基于MCVD设备的RIT/RIC套管工艺探索

摘要：

本文主要针对RIT/RIC套管工艺技术的缺陷,阐述利用 MCVD工艺,在MCVD设备上进行芯棒制备,同时通过优化蚀刻套管技术,利用MCVD制备芯棒自身优点,在不移动芯棒的情况下,成功完成套管大棒化制备过程.

关键词：RIT/RIC套管技术、MCVD工艺、蚀刻、大棒化

分类号：R65;R39

在线出版日期：2014-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：54-55