新型硅基气体传感器

摘要：

@@ 一种基于多孔硅和独特金属化工艺的新型传感器问世,与现有技术相比,可提高敏感性,降低电力需求和成本,还可用于环境探测、食品和生物医学应用中的重要气体化合物.

机标关键词：生物医学应用、金属化工艺、环境探测、高敏感性、电力需求、化合物、多孔硅、传感器、食品、气体、技术、成本

分类号：TS5;TQ4

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：48-49