集成电路用绝缘膜

摘要：

@@ 日本电子技术综合研究所电子设备部与比例积分技术研究所共同开发了感光性聚酰亚胺材料,可用于第2代集成电路的层间绝缘膜.以往的聚酰亚胺层间绝缘膜是将聚酰亚胺前驱物质形成图形后,通过300℃以上高温处理形成聚酰亚胺.

机标关键词：集成电路、聚酰亚胺材料、绝缘膜、前驱物质、技术综合、高温处理、电子设备、层间、比例积分、感光性、图形、日本、开发

分类号：TN3;S98

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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