基于电涡流传感器的机床导轨运动误差在机测量方法

摘要：

机床导轨运动时产生6个自由度的误差,在机检测其多自由度误差一直是难点.本文提出了一种嵌入电涡流位移传感器的直线导轨多自由度误差在机测量方法,在机测量导轨的两个直线度和滚动角.研究了参考基准的参考面误差以及安装平行度误差对测量结果的影响,提出了标定和补偿方法.并通过该装置的静态与动态对比实验表明,导轨行程200 mm时,直线度误差的对比残差为±3.7μm,滚动角的对比残差为±5".证实该装置可有效测量导轨运动误差,为多自由度在机测量系统的发展提供了研究基础.

关键词：电涡流传感器、直线导轨、多自由度、在机测量

分类号：TG87(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：辽宁省中央引导地方科技发展专项;大连理工大学基本科研业务费项目

在线出版日期：2023-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：52-57