面向特征建模方式的微器件表面微加工掩膜推导方法

摘要：

针对微机电系统传统设计方法中,微器件的结构设计过程不够直观,三维模型的更改需要根据掩膜的更改来推导完成.提出了一种算法以实现由微器件三维特征模型自动推导出掩膜版图.在完成对微器件三维特征模型工艺分层之后,每一工艺层分别包含各自的特征结构,再根据各个工艺层的结构信息和材料信息,利用提出的掩膜推导算法,在沿微器件加工方向的正方向完成掩膜的逐层推导.并在VC环境下基于Open CASCADE三维内核开发相关应用程序,来完成对掩膜推导算法的验证.通过实例验证表明,此算法具有可行性,可以实现掩膜的自动生成,较传统设计方法更加直观、高效.

关键词：表面微加工、MEMS、掩膜推导、元素推理

分类号：TH39;TP391.7(泵)

资助基金：陕西省自然科学基础研究计划资助项目2013JM7029

在线出版日期：2017-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79