多晶硅还原炉底盘温度场均匀性分析
针对一种24对棒多晶硅还原炉底盘的冷却模式,应用Fluent对多晶硅还原炉底盘内流体进行模拟分析,得出底盘的上花板温度分布图,并引入平均算数温度和均匀系数的概念分析底盘温度场的均匀性.总结概括出温度场均匀性分布随冷却液进口流量的变化趋势,提出判别温度场均匀化的判据,提供合适的流量参考.
多晶硅还原炉、底盘、温度场、均匀系数
34
TK175(热力工程、热机)
2014-03-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
160-163
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多晶硅还原炉、底盘、温度场、均匀系数
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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