多晶硅还原炉底盘温度场均匀性分析

摘要：

针对一种24对棒多晶硅还原炉底盘的冷却模式,应用Fluent对多晶硅还原炉底盘内流体进行模拟分析,得出底盘的上花板温度分布图,并引入平均算数温度和均匀系数的概念分析底盘温度场的均匀性.总结概括出温度场均匀性分布随冷却液进口流量的变化趋势,提出判别温度场均匀化的判据,提供合适的流量参考.

关键词：多晶硅还原炉、底盘、温度场、均匀系数

所属期刊栏目：34

分类号：TK175(热力工程、热机)

在线出版日期：2014-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：160-163