多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术研究进展
简述了目前多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术的难点,重点描述了氯硅烷精制方法,主要包括精馏法、反应法、吸附法以及它们的组合,如反应-精馏法、吸附-精馏法等.对各种方法进行分类与讨论,并指出了现存方法的优缺点.最后展望了各种方法的应用前景.
多晶硅、氯硅烷、精馏、反应、吸附
33
TQ028.4(一般性问题)
2013-12-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
14-18,20
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多晶硅、氯硅烷、精馏、反应、吸附
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TQ028.4(一般性问题)
2013-12-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
14-18,20
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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