多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术研究进展

摘要：

简述了目前多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术的难点,重点描述了氯硅烷精制方法,主要包括精馏法、反应法、吸附法以及它们的组合,如反应-精馏法、吸附-精馏法等.对各种方法进行分类与讨论,并指出了现存方法的优缺点.最后展望了各种方法的应用前景.

关键词：多晶硅、氯硅烷、精馏、反应、吸附

所属期刊栏目：33

分类号：TQ028.4(一般性问题)

在线出版日期：2013-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：14-18,20