多晶硅生产原料中添加四氯化硅的工艺研究

摘要：

提高精馏塔塔顶温度,在原料三氯氢硅中混入体积分数0.9％～20.3％的四氯化硅；调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度,弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响.显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量,而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化.优化条件下,进气中STC质量分数从4.21％增加到18.11％,尾气中STC质量分数从32.05％减小到25.62％,尾气比进气中STC质量分数增加的倍率由6.61减小到0.41.

关键词：多晶硅、原料、添加、四氯化硅、尾气

所属期刊栏目：32

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2012-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：85-87