10.3969/j.issn.0253-4320.2012.06.008
四氯化硅和四氟化硅的研究比较
SiCl4主要是作为改良西门子法生产多晶硅的副产物得到,SiF4主要是作为磷肥工业的副产物氟硅酸分解得到,但是二者纯度都不能满足生产多晶硅的要求,需进行分离纯化得到高纯物质.本文针对SiCl4和SiF4的物化性质、合成工艺、精制方法、应用前景等方面做了探讨和比较,指出SF4比SiCl4更具应用前景.
四氯化硅、四氟化硅、物化性质、合成工艺、精制工艺
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TQ127.2
2012-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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