多晶硅生产氯化氢回收工艺的模拟与优化

摘要：

建立了多晶硅生产氯化氢回收工艺过程的热力学模型,考察了吸收塔进气的氯化氢摩尔分数、吸收塔的液气比、解吸塔回流比等因素对吸收尾气中氯化氢摩尔分数、回收氯化氢中氯化氢摩尔分数的影响,并考察了闪蒸脱氢的最优条件.最终得出CVD尾气的最优吸收液气比和解吸同流比分别为1.4和0.3；STC氢化尾气的最优吸收液气比和解吸回流比分别为2.0和0.3；闪蒸的最优条件是0.2 MPa、-40℃.

关键词：多晶硅、尾气回收、氯化氢、模拟

所属期刊栏目：32

分类号：TQ018(一般性问题)

在线出版日期：2012-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：104-106,108