高纯六氟化钨的纯化工艺研究

摘要：

采用吸附-精馏-鼓泡联用纯化系统对WF6进行纯化.通过吸附除去WF6中的氟化氢杂质;设计精馏塔进行精馏实验除去其他轻组分杂质,并同时进行鼓泡纯化.研究表明吸附法对于WF6中的HF有很好的去除效果,可将WF6中HF的体积分数降到1×10-6以下;精馏-鼓泡联用能将气相杂质的含量降到1×10-6以下,经此纯化操作可以得到纯度为99.999%的WF6.将精馏-鼓泡应用于WF6的纯化有分离效果好、经济性好等优点,适用于工业化生产.

关键词：六氟化钨、吸附、精馏、鼓泡

所属期刊栏目：28

分类号：TQ163.13

在线出版日期：2008-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72