一款基于表面改性和MEMS工艺的超宽带柔性天线

摘要：

文中提出一款新型的超宽带(UWB)柔性天线,具有重量轻、体积小、结构紧凑、易共形等特点,适用于超宽带无线通信系统.该天线以柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质基底,并在介质基底的一侧单面覆盖金属铜,设计了双圆形辐射贴片和具有缺陷结构的金属地.为了降低加工成本,简化工艺流程,采用头面波导(CPW)的馈电方式,并基于微电子机械系统(MEMS)工艺进行等离子(Plasma)刻蚀处理和天线加工制造.结果 表明,所设计的天线带宽达到9.86 GHz(2.83～12.69 GHz)频率范围,包括3.1～10.6 GHz的超宽带(UWB)频段,阻抗相对带宽为127％,与仿真结果基本一致.对加工后的天线进行弯曲效果测试,测试结果表明,在一定的弯曲条件下,该天线表现出良好的阻抗匹配特性和稳定的远场辐射模式,满足超宽带通信的需求,这使得它适合于现代柔性电子系统集成.

关键词：UWB柔性天线;超宽带;共面波导;表面改性;微电子机械系统;柔性材料;PDMS基板

所属期刊栏目：44

分类号：TN822+.8-34(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家自然科学基金项目;装备预研领域基金项目;山西省高等学校科技创新项目资助

在线出版日期：2021-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-16