高采样频率位移测量系统硬件架构设计

摘要：

在高端光刻机中,光栅尺掩模台位移测量系统拥有较复杂的运算模型,而且要求测量系统硬件架构能满足20 kHz高采样频率的需求.通过对国内运动台位移测量系统硬件架构进行对比研究,提出一种兼容以往软件架构的基于多核DSP运算板卡的光栅尺掩模台位移测量系统硬件架构,使用多核DSP内核间共享内存通信的机制,取代运算板卡间数据总线通信的机制,同时由板内PCIe总线互联片上多核DSP与FPGA.搭建硬件在环仿真平台进行实验,实验结果表明,系统获取原始数据、进行模型运算以及发送位置数据的总体性能提升百分比约为136％,保证模型运算精度的同时,满足20 kHz采样频率的要求.

关键词：位移测量、硬件架构设计、采样频率、多核DSP、光栅尺掩模台、仿真平台搭建

所属期刊栏目：43

分类号：TN874+.3-34(无线电设备、电信设备)

资助基金：国家重大科技专项2017ZX02101007-003

在线出版日期：2020-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14