可延展电子通用金属互连结构电学特性分析

摘要：

为探究可延展通用互连结构的不同几何参数和拉伸率在高频条件下对电学性能的影响,利用有限元法对通用互连结构金属导线的电感与拉伸率和频率之间的变化关系进行研究.利用正交试验对通用互连结构的几何参数、拉伸率和频率对交流电感的影响进行了分析.结果表明,等效圆弧半径、等效水平线段、厚度以及斜线段是对导线交流电感的主要影响因素,为可延展通用互连结构的设计和优化提供了参考依据.

关键词：互连结构、电学特性分析、正交试验、交流电感、金属导线、仿真分析

所属期刊栏目：42

分类号：TN98-34;O342;O343.1

资助基金：国家自然科学基金资助项目61474032

在线出版日期：2020-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-62,66