基于分区独立温度控制的探针台卡盘温度均匀性研究

摘要：

在半导体测试的高低温测试中需要有效地保证探针台卡盘表面温度的均匀性.利用基于有限元方法的仿真软件ANSYS Workbench对探针台卡盘冷却层进行建模,研究表面温度场分布情况.同时,对探针台卡盘表面各区域进行温度测试获取探针台卡盘温度分布.仿真结果和实验结果一致,表明探针台卡盘表面中心位置温度最高,距离卡盘中心位置距离越远,温度越低.基于现有探针台卡盘均匀加热下表面温度分布的状况,提出加热板实施分区独立温度控制,从而改善探针台卡盘表面温度的均匀性,提高探针台高低温测试的精确性.

关键词：探针台、有限元方法、均匀性、分区控制、半导体、温度测试

所属期刊栏目：41

分类号：TN876-34;TP23(无线电设备、电信设备)

资助基金：北京市科技计划课题Z161100003016011;北京市智能机器人与系统高精尖创新中心资助;高动态导航技术北京市重点实验室开放课题HDN2017002

在线出版日期：2018-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-16,21