基于PSO优化SVM的MEMS加速度计温度补偿方法研究

摘要：

温度对MEMS加速度计性能的影响至关重要.结合扭摆式硅微加速度计的结构及温度特性,采用基于自适应权重的粒子群优化算法来优化支持向量机算法,创建MEMS加速度计温度补偿模型,并利用STM32F405RG64实现实时温度补偿系统.实验结果表明,补偿后加速度计的标度因数温度系数、全温零偏极差、非线性度分别由补偿前的264 ppm/℃, 71.98 mg,2.07%降低到105 ppm/℃,10.31 mg,0.25%,可见补偿后加速度计的性能得到比较明显的改进,能证明该方法的有效性和可行性.

关键词：MEMS加速度计、扭摆式硅微加速度计、粒子群优化算法、自适应权重、支持向量机、温度补偿

所属期刊栏目：41

分类号：TN37+3-34;U666.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金重点项目61434003;装备预研基金项目9140A09032015Project Supported by Key Program of National Natural Science Foundation of China61434003;Equipment Pre-Research Program9140A09032015

在线出版日期：2018-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：58-62,66