用于射频集成的高Q硅基电感的优化设计

摘要：

采用理论分析与电磁仿真结合的方法,对硅上多层金属构成的螺旋电感进行电性能研究,优化并获得一种适用于射频电路集成的硅基射频高Q电感.对于影响电感Q值的多种损耗机制,重点研究了趋肤效应对电感的影响.并通过结构参数及金属层叠优化后,硅上电感的Q值可以达到60以上,自谐振频率可以达到10 GHz以上,可以较好地应用于射频系统中的滤波选频及匹配等网络.

关键词：硅上电感、趋肤效应、射频系统集成、电磁仿真

所属期刊栏目：38

分类号：TN702-34(基本电子电路)

资助基金：重大科学技术专项2013ZX02502-004;高效集成扇出型封装及任意互连高频封装基板2014ZX02501003

在线出版日期：2015-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：106-109