基于LabVIEW的碳基薄膜制备自动控制系统开发研究

摘要：

基于LabVIEW图形化编程软件和PCI1711多功能卡，设计开发了用于真空等离子镀膜机的自动控制系统，实现了对四面体非晶碳薄膜制备工艺的自动控制。该系统共分为5个模块：镀膜机各设备的电源控制（70路）、模/数转换（32路）、数模转换（32路）、PWM输出（6路）、机间通信（采用RS 485总线）。对电源的控制通过电磁继电器实现；数/模转换通过开关量输出接口控制D/A转换器予以实现；模数转换通过多路模拟开关芯片进行选通后送到数据采集卡的模拟量输入端予以实现；通过RS 485总线实现对复合真空计、涡轮分子泵、气体质量流量计等的控制与数据获取。实验表明，该控制系统具有对真空度、离子束表面改性、真空磁过滤多弧镀膜的实时监测与控制功能，实现了薄膜制备的计算机控制。

关键词：LabVIEW、四面体非晶碳薄膜、真空磁过滤多弧、离子束表面改性

分类号：TN915.9-34;TP311

资助基金：陕西省“13115”科技创新工程重大科技专项2009ZDKG-29资助的课题

在线出版日期：2015-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：111-114