用于系统级封装的毫米波介质填充波导的研究

摘要：

基于不断发展的系统级封装技术，提出了一种用于芯片间高速互连的新型可集成的物理器件：硅基毫米波介质填充波导。文中阐述了该器件的物理原理，采用建模、仿真相结合的方法对该模块进行了结构设计，利用新的设计思路结合半导体工艺解决了毫米波互连结构内部的反射、电压驻波比（VSWR）、信号耦合、准TEM-TE-准TEM转换传输问题以及毫米波互连结构阵列中信号泄露的问题，并利用半导体与MEMS加工工艺加以实现。测试结果表明宽度为680μm的单通道矩形波导，-10 dB带宽为9.8 GHz，相对带宽为12.56%；传输损耗为1 dB/cm，工作频带内相邻波导之间串扰低于-40 dB，可以形成大阵列并进行集成，从而实现芯片间数据的并行传输。

关键词：毫米波、介质填充波导、芯片间互连、系统级封装

分类号：TN919-34

资助基金：重大科学技术专项2013ZX02502-004

在线出版日期：2014-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：83-86