AlGaN MSM结构日盲型紫外探测器

摘要：

采用低压-金属有机化学气相沉积（MOCVD）法在（0001）方向的AlN/蓝宝石模板上生长得到Al组分为40%的AlGaN材料，设计并制作了MSM型AlGaN 日盲紫外探测器。通过HRXRD，SEM，AFM对AlGaN材料进行了表征，结果表明：该材料为六方相结构，且应变程度很小，粗糙度（RMS）为1.32 nm。通过测试器件在230~320 nm之间、在不同偏压下的光谱响应曲线，发现器件的截止波长在285 nm附近，截止边很陡峭；器件的峰值响应波长为275 nm；在7 V偏压下，器件峰值响应度达到最大2.8 mA/W；零偏压下，器件的暗电流1×10-13A，器件的暗电流很小。

关键词：日盲型、紫外探测器、金属有机化学气相沉积法、AlGaN、光谱响应

分类号：TN23-34(光电子技术、激光技术)

资助基金：昌吉学院院级课题2011YJYB001，2011YJB006；昌吉学院重点建设学科项目昌院校发[2012]92号

在线出版日期：2014-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：120-122,126