低压下激光剥离的研究

摘要：

为了研究低压环境对激光剥离的影响，利用准分子激光剥离系统和真空腔对GaN/蓝宝石样品分别在低压下和常压下进行多脉冲激光照射，之后用台阶仪测量样品的分解深度，得知相比常压环境，低压下GaN分解深度在脉冲次数为10次、20次、30次时分别增加了为10.2%，19.0%，24.3%，之后结合GaN材料分解过程和脉冲激光照射GaN/蓝宝石结构过程进行理论分析得到相应低压和常压下的GaN材料的理论分解深度，得到与实验一致的趋势。证明了低压环境能提高激光剥离速率。

关键词：GaN、激光剥离、多脉冲激光照射、激光剥离速率

分类号：TN24-34(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金11104230

在线出版日期：2014-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：156-159