一种硅压阻式压力传感器温度补偿算法及软件实现

摘要：

硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一，如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法，并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法，并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算，进而实现传感器输出的动态温补，达到了很好的输出线性性。实验结果表明，补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5% F.S。

关键词：硅压阻式压力传感器、温度补偿系数、温度补偿算法、温度补偿模型

分类号：TN389?34;TP212(半导体技术)

在线出版日期：2013-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：18-20,24