PIND试验中水溶胶清洗方法研究

摘要：

国内PIND试验室对水溶胶的清除方法普遍存在诸多弊端,导致元件表面胶体残留过多,给后续试验带来质量隐患.在探讨了多种在用的清洗方法后,提出了“喷淋-循环”一站式清洗方案,在满足元器件的温度、表面保护、静电防护等要求的同时,清洗质量和清洗效率也有了极大的提高,最终研制出新型水溶胶清洗机.试验证明,新方法具有耗费低廉、使用方便、易于维护、可靠性高等显著优点,可极易推广至相似需求的中、小型PIND试验环境中.

关键词：PIND试验、清洗方法、元器件清洗、水溶胶

所属期刊栏目：35

分类号：TN919-34

在线出版日期：2012-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：175-177