台槽刻蚀对埋栅型静电感应晶体管特性的影响

摘要：

对埋栅型SIT,为切断栅极和源极(或阴极)之间在外延过程中形成的连体,打开栅电极区,进行外延后的台面刻蚀,对台面刻蚀的深度和形状进行研究;为消除栅墙外划片边界造成的各种寄生效应,在有源区的外面挖深槽,以保证栅源击穿发生在内部、实现击穿接近理论值.对先刻蚀台面还是先刻蚀槽的问题做了实验对比,结果发现先台后槽更有利于器件特性的改善.

关键词：埋栅型SIT、台面刻蚀、深槽刻蚀、先台后槽

所属期刊栏目：35

分类号：TN911-34

资助基金：甘肃省自然科学基金3ZS051-A24-034

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：175-178