基于单片机改造迈氏干涉仪自动测量微小长度

摘要：

为了能精确地自动测量He-Ne激光波长和透明薄膜厚度,采用单片机驱动步进电机带动迈克尔干涉仪的微调手轮转动,使光屏上产生稳定变化的干涉条纹,用光电二极管检测条纹信号光强变化,通过光电转换电路将光信号转变为电信号,输入到单片机进行处理,测量结果自动显示在液晶屏上.在一般实验环境下进行了多次实验,将实验结果与标准值进行比较得出,改造后的仪器测量微小长度速度快,误差小,精确度高.

关键词：单片机、步进电机、迈克尔逊干涉仪、微小长度测量、薄膜厚度测量

所属期刊栏目：34

分类号：TN911-34

在线出版日期：2011-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：150-153